靜電定義及術(shù)語(yǔ):
1.ESD的含義及三種型式:
ESD的含義:
ESD是代表英文ElectroStatic Discharge即"靜電放電"的意思。ESD是本世紀(jì)中期以來(lái)形成的以研究靜電的產(chǎn)生與衰減、靜電放電模型、靜電放電效應(yīng)如電流熱(火花)效應(yīng)(如靜電引起的著火與)及和電磁效應(yīng)(如電磁干擾)等的學(xué)科。近年來(lái)隨著科學(xué)技術(shù)的飛速發(fā)展、微電子技術(shù)的廣泛應(yīng)用及電磁環(huán)境越來(lái)越復(fù)雜,對(duì)靜電放電的電磁場(chǎng)效應(yīng)如電磁干擾(EMI)及電磁兼容性(EMC)問(wèn)題越來(lái)越重視。
三種型式:
(1)人體型式即指當(dāng)人體活動(dòng)時(shí)身體和衣服之間的摩擦產(chǎn)生摩擦電荷。當(dāng)人們手持ESD的裝置而不先拽放電荷到地,摩擦電荷將會(huì)移向ESD的裝置而造成損壞。
(2)微電子器件帶電型式既指這些ESD的裝置,尤其對(duì)朔料件,當(dāng)在自動(dòng)化生產(chǎn)過(guò)程中,會(huì)產(chǎn)生摩擦電荷,而這些摩擦電荷通過(guò)低電阻的線路非常迅速地瀉放到高度導(dǎo)電的牢固接地表面,因此造成損壞;或者通過(guò)感應(yīng)使ESD的裝置的金屬部分帶電而造成損壞。
(3)場(chǎng)感類型式即有強(qiáng)電場(chǎng)圍繞,這可能來(lái)之于塑性材料或人的衣服,會(huì)發(fā)生電子轉(zhuǎn)化跨過(guò)氧化層。若電位差超過(guò)氧化層的介電常數(shù),側(cè)會(huì)產(chǎn)生電弧以破壞氧化層,其結(jié)果為短路。
(4)其它還有:機(jī)器模式、場(chǎng)增強(qiáng)模型、人體金屬模型、電容耦合模型、懸浮器件模型。
2.靜電術(shù)語(yǔ)及定義:
① 靜電:物體表面過(guò)?;虿蛔愕撵o止的電荷。
② 靜電場(chǎng):靜電在其周圍形成的電場(chǎng)。
③ 靜電放電:兩個(gè)具有不同靜電電位的物體,由于直接接觸或靜電場(chǎng)感應(yīng)引起兩物體間的靜電電荷的轉(zhuǎn)移。靜電電場(chǎng)的能量達(dá)到一定程度后,擊穿其間介質(zhì)而進(jìn)行放電的現(xiàn)象是靜電放電。
④ 靜電度:元器件所能承受的靜電放電電壓。
⑤ 靜電器件:對(duì)靜電放電的器件。
⑥ 接地:電氣連接到能供給或接受大量電荷的物體,如大地,船等。
⑦ 中和:利用異性電荷使靜電消失。
⑧防靜電工作區(qū):配備各種防靜電設(shè)備和器材,能限制靜電電位,具有明確的區(qū)域界限和專門標(biāo)記的適于從事靜電防護(hù)操作的工作場(chǎng)地。